氦质谱检漏仪是一种利用氦作为泄漏气体分析仪测量氦泄漏的质谱仪。所以今天小将介绍氦质谱检漏仪在真空值验证中的应用，详见以下内容：

氦是一种稀有气体，不会腐蚀设备，不会与真空设备发生化学变化，无毒，不会污染环境，使用非常安全。对容器环境和质谱环境的干扰较小，常用作泄漏气体。

气体喷射在连接检漏仪（即调整到只对氦反应的工作状态气体分析仪）的被检容器上。如果容器有漏孔，分析仪会发出声音，然后了解漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域不可缺少的技术。由于其检测效率高、简单易行、仪器反应灵敏、精度高、不受其他气体影响，广泛应用于电阻炉检测泄漏。

将氦注入一定压力，然后用正压探伤设备检测所有接头。发现泄漏记录将与发泡系列号一一对应。如果大允许结果超过用户设置，将立即回顾。然后，无油前泵和涡轮分子泵安装在10排发泡设备上。通过软件的完全控制，外部管道抽真空并保持运行状态，然后操作员使用外部喷雾观察所有接头，质谱系统可以监督任何氦泄漏。经渗水检测后，将汽化器抽真空烘烤。

实验结束后，质谱仪系统将主动分析气泡体和连接管中的气体。为了保证实验结果的准确性，所有鼓包机的原水、氧和溶剂的浓度必须低于1ppm。测试结束后，应提示操作人员测试结果是否合格，并记录所有数据测试，便于跟踪。

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