真空系统是指由真空泵、真空计和各种零件通过管道以适当的方式连接而成的能够满足一定真空值要求的装置。真空系统的基本要求是什么？

1.抽取设备或工作室获得所需的极限真空和工作真空值。

空度是指设备在没有泄漏和排气的情况下达到的真空值，工作真空值是指设备在真空处理过程中可以维持的真空值。在真空处理过程中，经常会释放出大量的气体，当工作真空值明显低于极限真空度时。极限真空度和工作真空值各有其重要性，它们从不同的侧面影响设备的质量。例如，在使用氧化物负极器件的排气真空系统中，电10-2极除气和负极分解产生大量的空气。如果工作真空值差，可能会导致电极氧化和负极激活不良。但当设备最终密封时，基本上没有泄漏，设备中的真空值取决于排气真空系统的极限真空度。

2.获得工作真空值所需的时间

这取决于真空系统的速度。提高速度可以缩短此时间。大型工作室显然需要大速度。有时工作室不大，但由于严重泄漏，真空系统也需要大速度，否则大量泄漏会大大降低真空值，使系统无法工作。

3.在被抽装置或工作室内有合适的残气成分

仅仅提高和保证极限真空度和工作真空值是不够的，对残留气体成分也有一定的要求。例如，为了在一年的使用寿命内降低灵敏度，设备中残留气体的含氧量不应高于10-2Pa耐高压真空开关管不得含氮氧化物分子等。如果真空系统中没有其他气源，主要取决于泵的特性。

4.真空系统还必须结构简单、性能可靠、操作维护方便、价格便宜等

这些要求需要从泵的选择、管道尺寸的确定和布局、装配过程等方面来充分考虑。这些基本要求通常是相互关联的。例如，由于真空系统总是有微泄漏现象，所以选择大泵比小泵可以获得更好的工作真空值，但大泵价格昂贵，耗水，耗电，因此存在合理选择的问题。仪器和小型真空系统应选择微型真空泵，成本低、效率高、噪音小，部分客户不适合选择流量大的工业真空泵。

5.自动化要求

随着计算机技术的发展，用户对真空系统自动化的要求不断提高。对于真空系统，自动控制主要是调整真空泵流量和真空值。真空值通常由调节真空泵流量、安装节流阀和减压阀控制。节流方法能量损失大，产生额外噪声，最好直接调整真空泵转速。工业真空泵的调速方法有很多，主要分为两种：第一种是电机转速不变，通过附加设备改变真空泵的转速，如变速箱调速，第二种是直接改变电机的转速，如硅系列调速、变频调速等。目前，工业真空泵常用的方法是变频调速，节能效果好，可实现无级调速、调速比大、调速准确、速度稳定。

过去，小型真空系统的微型真空泵通常采用降压调速。降压运行的额外优点是有利于提高泵和电机的使用寿命。如果泵负荷较大，降压后容易导致电机无法启动，导致电机温度升高，造成安全隐患。

对于密封性能好的真空系统，如果没有定期放气，内部没有蒸汽源，可以选择极限真空度较好的小型泵。但是，如果系统漏气较多，则必须采用提高泵速度的方法，以确保其工作真空值。此时，应使用较大的泵速度，并尽可能增加管道的流导，即选择短而粗的管道。