氦质谱检漏仪是一种质谱分析仪，主要用于真空检漏，性能好，敏感性高。

氦质谱检漏仪一般由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还配备协助真空系统。

以下由小编为您详细介绍：

一、质谱室

形象地说，质谱室是氦质谱泄漏检测仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三部分组成，冷阴极磁控规则也被放置在其中，并使用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，高阻力和静电计管也被放置在质谱室内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部排空，外部磁石产生磁分析器的磁场。

二、真空系统

真空系统是提供质谱室正常运行的条件。由于钨负极正常工作时需要0.001-0.01Pa真空值，证了氦离子在分析器中的高传输率，因此有必要建立一个高真空系统。系统中的节能阀是为了满足质谱室工作压力的调工作压力的调全打开时，泄漏测量的敏感性最高，因此在条件允许的前提下打开更大的泄漏。为了纠正泄漏测量的敏感性，系统设置了标准泄漏。

三、电气系统

氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的电源和测量，其他部分包括真空系统的电源和控制部分、控制面板和导出仪器。主要包括小电流放大器和导出设备、低频发生器、高压整流器和输送电流稳定装置，高压整流器提供冷阴极磁控规则电源。

辅助真空系统配置

在氦质谱仪泄漏测量技术中，根据结构、规格要求和具体泄漏测量条件，设置辅助真空系统，确保泄漏仪工作真空值，进行气体分离，减少反应时间和清除时间，减少对敏感性的不良影响，在某些环境下非常必要。