如今，越来越多的大型涡轮分子泵或低温泵被用来代替油扩散泵系统，以防止油蒸气污染。因此，这些年，国内外涡轮分子泵得到了显著的改进和发展。

与油扩散泵相比，涡轮分子泵具有启动快、有机蒸汽污染少、真空极限高的特点。因此，分子泵被用作氦质谱检漏仪的高真空系统。即使检漏仪不使用液氮冷陷阱，质谱室也不会严重污染，能保持较低的背景或噪音，这样可以提高氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性，延长离子源的使用寿命。

氦质谱检漏仪具有广泛的质量范围，不仅可以检测氦，还可以检测其他气体。分子泵排气系统取代了扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且为快速启动仪器和快速停机做出了巨大贡献。

氦质谱检漏仪中没有手动阀门，自动调节误差。同时，涡轮分子泵被用来代替油扩散泵，以消除可能的油回流。计算机技术也应用于泄漏检测器。操作、控制和输出数据由计算机自动操作。典型的示波器已被阴线管显示屏所取代。整个操作只需按下各种按钮即可自动进行。也可以使用app远程控制检漏仪，并实时监控检漏仪显示漏率。

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