真空箱式氦检漏系统由于检漏速率高，单次检测数量大，操作简单、运行成本低等特点，已成为大型工件和电子器件等生产线批量检漏的主要方式，真空箱式检漏系统根据检漏方式不同又可分为压氦真空箱式检漏和充氦检漏再回收两种模式。

真空箱氦检漏回收系统

一、真空箱氦检系统

真空箱氦检系统适用于中、小型压氦密封工件、压力容器、RAC元件及类似产品的部件装配和中期生产测试等产品的检漏。

主要优点：

系统简单实用，设备成本低；

检漏速度快，单箱节拍最快30秒内；

单次检测数量大，工件无需密封接口；

箱内检漏，无需高压气体，安全可靠；

主要缺点：

检测前工件需要压氦，密封性要求高；

器件内氦气无法回收，氦气使用成本高；

适用于中小型器件，大型器件密封难度高；

泄漏需要重复确认，适用良率较高产品。

真空箱氦检系统由真空箱、检漏仪、预真空和清氦系统以及电控系统组成。

二、真空箱充氦检漏回收系统

真空箱充氦检漏回收系统适用于对空调两器、板式换热器、压力容器、大型电子元器件等产品的充氦检漏回收。

主要优点：

检漏速度高，单个最快检测节拍约10秒。

器件无需压氦直接充氦检测，前期工艺简单；

氦气回收率可达98%，检漏成本低；

可以检测大型工件，适用范围广；

检测精准，一次性完成检测。

主要缺点：

设备成本较高，运行功耗较高；

单箱检测数量少；

需要充氦接口密封，影响判断准确性

高压管道充气，接口更换频率高；

系统由真空箱系统、检漏系统、氦回收系统和电气控制系统组成。