一、半检漏(喷氦法)

1、插上电源，打开氦质谱检漏仪总开关。等待2分钟，当听到一阵风鸣声之后说明氦质谱检漏仪已完全启动。

2、查看氦质谱检漏仪装置确保检漏参数未被更改，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍;然后涂上一层高真空硅脂;Z后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。

3、把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，然后点击检漏按钮进行漏率检测。等漏率值稳定之后，拿装好氮气的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这是漏率值都会有相应的变化。如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。

4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。

二、全检漏(背压法)

1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。

2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加压力0.2Mpa的压力加压4h。

3、在氦质谱检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖板。进行检漏。检漏过程中不能揭开盖板。

4、将在氦质谱检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进一步的检漏。主要原因是担心有些组件的漏率合格在氦质谱检漏仪抽真空时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影响检测的结果因此才进行氟油粗检。氟油粗检的时候通过肉眼观察气泡的泄露情况即可Z终判断该组件的漏率是否合格。

5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。