目的：

1.为了实现快速判断，设备的漏孔位置

2.根据不同的漏率值，快速的判断漏孔的大小

易泄露位置：

法兰连接处，经常开启或拆卸的位置

一：目测、查找

1.在法兰管路连接处，查看是否有装配不良的现象。

2.在经常开关或拆卸的位置，查看是否有异常

二：氦质谱检漏

1.将氦质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。

2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。

3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管- -端加高真空手动挡板阀。

4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。

5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。

6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。

7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。

8.最后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。

9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。

三：可能出现的问题

1.检漏仪没有设置‘停止不放气’，在检漏仪‘停止’的时候，会对真空炉或镀膜机的真空系统有大气的冲击，容易损坏真空器件。

2.真空炉或镀膜机内部的复杂结构，会导致检漏仪的本底值比较高，会导致微小漏孔不

易检测。

3.真空炉或镀膜机如存在润滑油或冷凝水等对气体有吸附的物质，会导致喷入的氦气被吸附，检漏仪检测不到氦气。