一、真空箱氦检的前期准备
1、安装环境检查：真空箱安装前，需要检查真空箱外壳是否完整，以及有无明显的变形;环境温度和湿度是否满足真空箱的使用要求;有无灰尘、油污及易燃易爆的物品;真空箱的接地是否完善;安装环境是否平稳、辐射放射率是否符合要求等等。
2、安装箱体：确定安装位置，根据安装位置把真空箱放置到指定位置;将真空箱紧固到墙上，确保真空箱四周与墙体紧贴;将真空箱连接氦气源。
二、真空箱氦检的步骤
1、真空箱内部检查：打开真空箱的门，检查内部有无异常;检查真空箱内部的接地、接线、接头和电气设备的安装状况是否正确安全;检查真空箱内部的管路是否完整;检查真空箱内部的气体是否正常;检查真空箱内部的控制装置是否正常。
2、真空箱外部检查：检查真空箱外部的控制系统接线是否正确;检查真空箱外部的电气部件是否正常;检查真空箱外部的安全装置是否正常;检查真空箱外部的液位指示器是否正常;检查真空箱外部的温度和湿度是否正常。
三、真空箱氦检的操作流程
1、氦气质量检查：在安装真空箱后，需要对氦气的质量进行检查，检查氦气的含氧量、硫化氢含量、氩气含量、氧化物含量等，以确保氦气的质量合格。
2、氦气流量检查：检查氦气进入真空箱的流量，以确保真空箱内部的氦气流量满足安全要求。
3、真空检查：检查真空箱内部的真空度，以确保真空箱内部的真空度满足安全要求。
4、氦气浓度检查：检查真空箱内部的氦气浓度，以确保真空箱内部的氦气浓度满足安全要求。
5、氦气温度检查：检查真空箱内部的氦气温度，以确保真空箱内部的氦气温度满足安全要求。
6、氦气压力检查：检查真空箱内部的氦气压力，以确保真空箱内部的氦气压力满足安全要求。
真空箱氦检是一项重要的检查工作，它既可以保证真空箱内部环境的安全性，也可以保证真空箱的正常运行。为了完成真空箱氦检，首先要进行前期准备工作，包括安装环境检查、安装箱体等;其次，要对真空箱内部和外部进行检查;最后，要按照一定的操作流程，进行氦气质量检查、氦气流量检查、真空检查、氦气浓度检查、氦气温度检查、氦气压力检查等，以确保真空箱的安全性和正常使用。
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