氦质谱检漏仪是物理检测技术中检测漏损的重要设备，它利用氦流调节系统检测各种介质中的漏损，这种检测技术既可以检测空气、水、汽油等等物质，也可以检测高真空度的高精度真空系统。氦质谱检漏仪具有精度高、测量灵敏度高、快速检测等特点，可以检测出微小漏损介质，从而为机电设备的检测提供了可靠保障。

氦质谱检漏仪有多种型号，其根据介质不同可分为氦质谱检漏仪和氦检漏仪两大类。氦质谱检漏仪采取氦气经过压力衰减阀进入加热器，在不同温度梯度下可检测介质中的漏损，检测精度为10-2 Pa*a。氦检漏仪采用氦气由高壁垒泵抽送到待测介质中，抽吸功率控制在10-3Pa左右，可快速检测出漏损介质。

氦质谱检漏仪使用简单，仪器操作简单，可以快速检测漏损情况，进行微小漏损的检测。检测过程中不受介质环境条件影响，设备有自动升温和自动调压的功能，减少了操作的繁琐性，并可以有效保护仪器的使用寿命，而且可以记录检测数据，便于分析和追踪漏损问题。

此外，氦质谱检漏仪还有采用真空泵抽氦的气流检漏仪，可快速检测出压力漏损，准确识别漏损介质，从而有效解决检测难度大，检测效率低等问题。

氦质谱检漏仪具有精度高，检测灵敏度高，检测速度快，操作简单，保护仪器，自动调压，记录检测数据等优点，是一种高效实用的检测漏损介质的仪器。