氦质谱检漏仪可以用来检测各类压缩空气中包括氦在内的气体漏失量，这些气体可以是工业废气、普通气体，也可以是危险气体。由于它具有精度高、效率高、简便快捷等优点，已经在各行各业中得到了广泛的应用。

一、氦质谱检漏仪的工作原理

1、氦质谱检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是利用氦（He）原子和漏失气体之间的原子碰撞原理来实现检测漏失量的。当氦原子和漏失气体中的原子发生碰撞时，会产生一种氦原子的能量谱线，仪器根据这个能量谱线的强弱来检测漏失气体的数量。

2、氦质谱检漏仪的工作过程

（1）首先，将气体放入检测仪内，打开电源，使气体在连接管路中循环流动；

（2）将氦原子以高速喷射方式产生，使其进入检测仪；

（3）漏失气体及氦原子在仪器内进行碰撞，产生能量谱；

（4）再将流过检测仪内，接入仪器的探测器，探测器对能量谱线进行测量；

（5）最后，仪器根据探测器的信号，经计算机处理后，计算出漏失气体的总量，而氦谱仪即可显示出检测结果。

氦质谱检漏仪具有快速、精确、准确的检测特点，可以用来检测不同类型的气体，满足不同行业的检测需求，连接管路简单、操作方便、安装维护简单，已经在各行各业中得到了广泛的应用。