氦质谱检漏仪是一种质谱分析仪器，主要用于真空检漏，性能好，灵敏度高。一般来说，氦质谱检漏仪由质谱室、真空系统和电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。以180°的磁偏转型分析器检漏仪举例，其主要组成部分详解如下。

一，质谱室

形象地说，质谱室是氦质谱泄漏检测的心脏，由离子源、分析器和电气系统三部分组成，冷阴极磁控规则也被放置在其中，并使用其磁场。为了有利于细微的粒子流放大，第一次放大也被放置在高阻力和静电计管中。质谱室壳由非磁性材料制成，内部清空，外部设置永久磁铁产生磁分析器的磁场。

二、真空系统

真空系统是提供质谱室正常运行的条件。由于钨负极正常工作时需要0.001-0.01Pa真空值，确保氦离子在分析器中的运动具有较高的传输率，因此有必要建立一个高真空系统。系统中的节能阀是为了满足质谱室工作压力的调整。当阀门完全打开时，泄漏测量灵敏度较高，因此在条件允许的前提下打开较大的泄漏。为了纠正泄漏测量灵敏度，系统设置了标准泄漏。

三、电气系统

氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的电源和测量，其他部分包括真空系统的电源和控制部分、控制面板和导出仪器。主要包括小电流放大器和导出设备、低频发生器、高压整流器和发射电流稳定装置，高压整流器提供冷阴极磁控规则电源。

四、协助真空系统配置

在氦质谱仪泄漏测量技术中，根据结构、尺寸要求和具体泄漏测量条件，设置辅助真空系统，确保泄漏测量工作真空值，气体分离，缩短反应时间和清除时间，减少对灵敏度的不利影响，在某些环境非常必要。