氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢作为泄漏气体，用气体分析仪检测氦，测量泄漏的质谱仪。氦的底部噪音低，含量和粘度系数小，容易通过泄漏和扩散；此外，氦是一种稀有气体，不腐蚀设备，因此常见的氦作为泄漏气体。将这种气体喷洒在带有气体分析仪（调整到氦反应的工作状态）的被检测容器上。如果容器有泄漏，分析仪会发生反应，然后可以看到泄漏的位置和泄漏的大小。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测效率高、操作简单、仪器响应灵敏、精度高，不易受其他气体影响，在电阻炉泄漏检测中得到广泛应用。氦质谱泄漏检测仪是一种基于质谱原理的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部分组成。质谱室钨丝发射的电子在室内来回冲击，与室内气体和氦进入室内的泄漏相互冲击，使其电离成正离子。这些氦离子在加速电场的影响下进入磁场，由于洛伦兹力偏移，产生弧轨，改变加速电压，可以通过磁场和接收缝检测不同质量的离子到接收极。氦和氦吸收法是电阻炉泄漏检测中最常用的两种方法。