氦质谱检漏仪是一种以氦为示漏气体的质谱分析仪器。将氦气喷洒在与气体分析仪相连的被检容器上。如果容器有漏孔，分析仪会做出反应，从而知道漏孔的位置和漏气的大小。氦质谱检漏仪内部一般有标准漏孔，可拆卸校正。如果标准漏孔不能独立校正，可以考虑通过氦质谱检漏仪直接校正漏率。以下是小编总结氦质谱检漏率的校准方法。

氦质谱检漏仪泄漏率校准方法

一、环境条件

校正环境温度为(23)±5)℃，校正过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不超过80%。校正设备周围应无明显的温差、气流、强磁场等外部影响。环境温度最好保持在23%℃周边地区，由于标准漏孔出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。

二、选择标准器

标准器为渗氦型标准漏孔，漏率标称值为(10-6~10-10)Pa·m3/s，不确定性不超过10%。精密玻璃温度计，检测范围(0~50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。

三、校正方法

(1)漏率校正

①校正系统的组成

校正系统由标准漏孔、截止阀和氦质谱检漏仪组成。

②示值误差

通电预热，氦质谱检漏仪启动后，选择标准漏孔校正氦质谱检漏仪，校正后的标准漏孔连接到氦质谱检漏仪系统，运行氦质谱检漏仪。泄漏率示值稳定后，可读取标准泄漏率的氦质谱检漏仪示值，三次测量同一标准泄漏，计算氦质谱检漏仪示值平均值，得到标准泄漏率与氦质谱检漏仪示值平均值的示值误差。完成后，将其他等级的标准泄漏连接到氦质谱检漏仪系统进行测试，以获得每个等级下氦质谱检漏仪泄漏率的示值误差。

③重复性

测量重复性用试验标准偏差表示，校准方法用极差法表示重复性。在示值误差测量中，每个标准漏孔用氦质谱检漏仪反复测量三次，可用公式计算氦质谱检漏仪在泄漏率下的重复性。

氦质谱检漏仪测量数据处理

(1)漏率示值误差

①温度调节漏率

标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃，因此，如果实际环境温度与标准漏孔证书中的温度不一致，则需要将标准漏孔证书中的漏孔率和标准漏孔率的氦质谱检漏仪示值调整到同一环境温度，并在试验结果中表明，调整方法如下：

方法一：将标准漏孔证书中的漏率调整到实际环境温度，计算标准漏孔证书中的漏率加或降低对标准漏孔漏率的影响系数；

方法二:将标准漏孔率氦质谱检漏仪的平均值调整到标准漏孔证书中的环境温度下，用标准漏孔率氦质谱检漏仪的平均值加或降低温度对标准漏孔率的影响系数。

②漏率示值误差计算方法：

式中:Qx—标准漏孔漏率值(Pa·m3/s)；

Qb—氦质谱检漏仪泄漏均值(Pa·m3/s)；

ΔQ—氦质谱检漏仪泄漏率示值误差(%)。

(2)漏率重复计算方法

S=Qmax-Qmin

式中:S—漏率重复性(%)；

Qmax—氦质谱检漏仪最高值(Pa·m3/s)；

Qmin—氦质谱检漏仪最小值(Pa·m3/s)；

C—极差指数，当测量频率n为3时，C=1.64；

Qx—标准漏孔漏率(Pa·m3/s)。