氦质谱检漏仪检测开始时的故障

1.检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。假如灯丝没有启动或者灯丝断了，按下检漏键就不会反。

2.检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪后插座。I/O当氦质谱检漏入仪器后插座，此时将接受氦质谱检漏仪I/O口输入信号，不接受控制器信号，检漏键无效。

氦质谱检漏仪在自动校准结束时发生故障

自动校准失败(灯丝亮)，红色校正灯亮。首先检查自动校准设置，开关和关闭S1是否处在OFF位置，设置的泄漏率值是否与规格的泄漏值一致。温度传感器是否连接良好；二是检查敏感性，清洁质谱室（如果外部校正泄漏检测表明值与实际值一致，也可使用氦质谱检漏仪）。

氦质谱检漏仪

1.不要转换为详细的检漏口压力法×10-4MPa：检查粗检显示灯是否亮起，如果亮起，则表明氦质谱检漏仪处于粗检方式。然后按下粗检开关，将其转换为自动转换。

2.敏感度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。

3.氦本底太高。检查机械泵油是否无效(泵油长期使用会吸收更多的氦气，造成氦气污染)，检查仪器系统是否有泄漏，真空管道是否受到污染，三极压力是否达到10-6MPa，离子源是否受到污染。此外，我们还应注意环境污染问题。如果有多个氦质谱检漏仪，并且对氦的需求量很大。当通风不良时，氦扩散缓慢，也会造成氦污染。解决方案是在泄漏检测端口的排气阀排气口（一般为通风）处安装几升气罐，气罐与低压氦管连接。这样，环境中的氦污染就大大减少了。

4.模具设计不科学，导致泄漏检测失败。初步检查工作正常，工作几次后，速度大大降低，泄漏检测；加上死亡阻塞氦质谱检漏仪不泄漏，工作正常。这是由于工具设计不科学，如工具结构不科学，内表面过于粗糙，导致氦残留过多；或密封设计不科学，导致密封不可靠（因为工具设计师不熟悉专业真空设计）。

5.不科学的操作会导致故障。例如，在工作中，有一个很大的泄漏工件，因为操作员判断错误，不觉得工件泄漏，并检查工具的连接或氦质谱泄漏检测器，多次检查工件泄漏。这样，你就会发现所有的工作部件都不是。原因是大量的氦气进入质谱室，导致质谱室污染。解决方案是清理质谱室，反复呼吸和排气。

那么以上就是关于氦质谱检漏仪故障维护的完整知识。小编希望能帮助你~