在科学技术不断发展的时代，氦质谱检漏仪也在不断发展和完善。这主要取决于两个因素：一方面，泄漏检测应用技术不断对泄漏检测器提出新的要求，迫使氦质谱检测器本身进行更新；另一方面，泄漏检测技术也补充了现有氦质谱仪在应用过程中存在的一些不足，因此两者之间的关系相辅相成.相互促进。

经过半个多世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪告别了20世纪40年代初的局势。主要体现在以下几个方面:

1. 便携式：Z近年来各国推出的小型便携式氦质谱检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了极大的便利。

2. 高压强下检漏：检漏口压力可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件非常有益。

3. 高度自动化:氦峰自动校准，零点自动调整，范围自动转换，数据自动处理，外部打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一个完整的检漏过程。

4. 全无油干检漏:干式泵可用于一些国家生产的氦质谱检漏仪，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、芯片等半导体器件的检漏提供了有利条件。

5. 检漏范围宽：今天生产的四极氦质谱检漏仪，质量范围宽，不仅可以检测氦气，还可以检测其他气体。

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