大家觉得氦质谱检漏仪可以应用于镀膜设备的灵敏度吗？今天，让我们一起来看看~

真空镀膜设备中用于残余气体分析的质谱仪可以用H₂、He、Ar等作为示踪气体进行泄漏检测，但这些泄漏检测仪的泄漏检测灵敏度不同。自20世纪40年代以来，质谱仪在泄漏检测中的应用进一步促进了泄漏检测技术的发展。对氦质谱检漏仪的评价需要充分了解其主要性能指标。灵敏度是氦质谱检漏仪的主要参数。由于世界各国对氦质谱泄漏检测仪灵敏度的定义不一致，在我国，氦质谱泄漏检测仪的灵敏度基本上用最小可检漏率来表示。

氦质谱检漏仪的最小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个最佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的最小漏孔的漏率。

1、最佳工作条件

指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到最佳工作状态等。

2、动态检漏

指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的。

3、最小可检

指其信号是本底噪声的两倍。

4、漏孔的漏率

指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，最好给出检漏装置的最小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的最小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“最小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。

那么以上就是有关氦质谱检漏仪可以应用于镀膜设备的灵敏度的介绍，希望可以帮助到大家~