• 312021-12
    氦质谱检漏仪的维护与日常保养
  • 氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用,今天小编给大家介绍氦质谱检漏仪的维护与日常保养:

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    一.氦质谱检漏仪的结构和工作原理:

    氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析系统,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀V2前级泵对检漏接口抽真空,当检漏口真空度小于40 Pa 时,打开精捡阀V4,关闭抽空阀V2,氦气将以逆扩散的方式随着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的最小可检漏率为10- 13 Pa·m3/s。

    二.检漏仪的故障和处理

    1 内部的泄漏

    当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。

    2 本底信号不稳定

    1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。

    2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,检漏仪最好应有可靠的接地。

    3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。

    3 设备的分子泵不启动

    分子泵不启动,主要有检查供电和前级真空是否正常(较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动)。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

    4 设备的质谱室不能正常工作

    质谱室主要是灯丝无法正常加电,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。

    5 前级机械泵工作不正常

    主要经常观察泵油的颜色是否正常,粉尘的污染会使油色变黑,水汽会使油色呈现乳白色,都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动,过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作,使用机械泵的环境温度最好在+10至+40之间使用。

    三.检漏仪的保养注意事项

    1.如果仪器不是每天使用,建议每周开机检查一下,使仪器高真空系统保持真空,缩短仪器使用时的开机时间

    2.拆卸仪器部件(如离子源)后,安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。

    3.适时对仪器可能出现的泄漏处(如放气阀等)进行自身检漏,发现漏点后要及时取下清洗或固紧,以免在检漏时干扰检漏工作。

    4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。(散热口灰尘处理,和泵油的检查更换)

    5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上,尤其是进气口中,由于氦检漏仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用此仪器。

    6.使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源,并排除故障。

    以上就是有关氦质谱检漏仪的维护与日常保养,希望对大家有所帮助。

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