氦质谱检漏仪喷氦法检测优点：

1．检测灵敏度高，可精确定位

2．能实现大容器或复杂结构产品的检漏

氦质谱检漏仪喷氦法法检测标准：

检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB／T 15823-2009《氦泄漏检验》

氦质谱检漏仪喷氨法检漏流程:

1.将工件组装好后，再使用相应的工装，将工件连接到检漏仪上。

2.待确认连接OK后，按下检漏仪“开始”按键，检漏仪进入抽空检漏状态。

3.观察检漏仪显示屏上的显示的本底值达到4.0×10-10Pa.m3/s.

4.使用99.99%或999%的氨气，对工件可疑漏点，进行喷氨检测。

5.每个可疑漏点，喷氨1秒，观察检漏仪本底值3-5秒。观察检漏仪本底值有没有增加或检漏仪是否有报警输出。

6.按照步骤5依次检测其它可疑漏点。

7.喷氨气检测顺序是从上而下，先确认大漏点，8.检测结束后，先按下检漏仪“停止按键，待检漏仪显示屏出现待机画面后，再拆卸工件。

氦质谱检漏仪检漏过程的说明：

抽空

1．检漏仪开始后，先将工件内部的空气，从1.0E＋5Pa 抽到小于1.0E＋3Pa时，检漏仪是抽空状态，

2．这个状态检漏仪还没有处在检漏状态，但可以通过抽空时间和抽空的压力，来初步判断工件是否有大漏。

3．检漏口压力低于1.0E＋3Pa时，检漏仪进入检漏状态。

4．检漏仪本底值会一直减小的状态，待检漏仪本底值，减小的状态，相对稳定时（测试的工件，本底值可以到4.0x10-10Pa-m3／s．左右），就可以进行喷氦测试。

5．不同的工件，会因抽空部分的内表面、工件的材料、密封的结构等条件影响，检漏仪的本底值也会不同。

检漏

1．喷氦时，至上而下，先找大漏点，处理后，再找小漏点。

2．每个可疑漏点喷氦1秒。察3-5秒（根据工件的体积或长度，观察时间要有所变化，长度每增加1米，观察时间要加1秒左右）如果连续喷氦，喷枪移动的速度不能超过1cm／秒，喷枪离工件表面距离≤5mm．

3．如发现检漏仪本底值增加，将停止喷氦。在可疑漏点处，重复喷氦1秒，观察3-5秒的操作。找到最大漏点处。

4．停止检漏仪，将工件取下维修。排除可疑漏点后。

再重新检测其它漏点。

报警检漏过程会有3个现象:

1,在喷氦的过程,检漏仪的本底值一直减小。可以判断工件没有漏孔,或存在的漏孔小于检漏仪的当前本底值。

2,在喷氦过程,检漏仪的本底值大于报警值,检漏仪处在报警状态,说明工件存在漏孔。漏孔的漏率,是当前情况下,检漏仪显示最大的本底值。

3,在喷氦的过程,检漏仪的本底值增加,但检漏仪没有报警。可以判断,工件存在一定的微漏,只是漏孔大小是符合要求范围的。如要找到可疑漏点。可重复的检测判断具体的位置,可方便维修。