防返油阀，又称压差阀。氦质谱检漏仪中使用防返油阀的目的：主要是防止机械泵中的油，在检漏仪停止工作时，从机械泵内返到检漏仪的阀座内，导致检漏仪无法正常使用。

防返油阀的作用：

防返油通常是装配在机械泵的进气口，另一端与分子泵的排气口连接。

在通电后，防返油阀内部打开，使分子泵排气口和机械泵进气口导通。气流沿分子泵进入机械泵。

在断电后，防返油阀内部关闭，外界的空气沿阀内部的通道进入阀的出气口，使机械泵进气口达到大气压状态。

从而防止机械泵油从进气口返出。

防返油阀的图示

优点：防返油阀，能够很好的避免因机械泵故障，导致返油到检漏仪阀座和分子泵的概率。能够更好的保护检漏仪。

缺点：防返油阀内部的密封和放气部件是由硅胶或氟胶类材料，这些材料，在长时间使用过程会老化，导致防返油阀的性能有所下降，如不定期保养，就不能达到很好的防返油的效果。

机械泵返油的主要原因是机械泵油内有异物，或其它颗粒装的异物，残留在机械泵进气口内部的防放油装置上，或防返油阀的密封圈上。破坏了机械泵和返返油阀的密封。而分子泵的排气口，还保持着负压状态，就把机械泵的油给吸上阀座里来了。