对示踪气体的要求：
1. 无害: 不能对人体、环境、被检件、检漏仪造成污染、伤害或是存在安全隐患;
2. 质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝;
3. 化学性质稳定，不会起化学反应或易燃易爆;
4. 最好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求.
示踪气体种类
1. 氢气（H2）
2. 氦3（氦气同位素气体)
3. 氦4（He4 ）
目前，全世界绝大部分检漏仪的示踪气体采用的是氦气。
一般检漏都用氦气（He）作为示踪气体，也有用氢气（H2）作为示踪气体的. 氢和氦都是比较理想的示踪气体: 空气中的含量少，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长. 实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用. 但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。
氦质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体, 主要原因如下
1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小. 正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来。灵敏度高.
2.氦的质量小 (相对分子质量为4)，易于穿过漏孔. 这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全.
4.在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开。定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度.
5.氦在被检件及真空系统中不易被吸附，这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏, 提高了仪器的检漏效率。
