(1)前级真空泵的定期换油及深度保养；
(2)电磁阀组的超声清洗；
(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
检漏仪主要配置：
1. 检漏仪德国普发分子泵
2.优成机械泵
3.渗氦型校准漏孔
4.美国AD放大器
5.质谱模块
6.液晶触摸彩屏
7.高性能宽电压主控板
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