• 102021-06
    提高氦质谱检漏仪灵敏度方法
  • 1、尽量开大节流阀。

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    2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。

    3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。

    4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。


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