一般情况下，氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。

1、质谱室

形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源，质量分析器和离子检测器三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将diyi级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。

质谱室中离子源的作用是将中性分子和原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质量分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质量分析器的作用是将各类离子按其质荷比的不同实现分离，一般有磁偏转式和四极犁两类。一般氦质谱检漏仪多使用前一种质量分析器，而四极型多适用于多种探索气体的通用型氦质谱检漏仪。离子检测器的作用是收集质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，以推动漏率显示等有关电路。

2、真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度Zgao，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

真空系统一般由机械泵、分子泵、测量系统组成。按照真空系统的不同结构，氦质谱检漏仪分为常规系统和逆扩散系统两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氦气首先到达质谱管被检测，因而具有较高的灵敏度。逆扩散系统氦质谱检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，因此被广泛采用，逐渐成为市场的主流产品。

3、电气系统

氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

4、辅助真空系统的配置

在氦质谱检漏仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证氦质谱检漏仪工作真空度、进行气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。