氦质谱检漏仪原理浅析为什么用氦气作为检漏的气体？

1.氦气分子量小，扩散性强、渗透率高，即可以通过极小的孔。

2.氦气在空气中的体积含量约为5ppm，这说明正常空气环境中氦气的含量很小，即氦本底很好。

3.氦气是无毒无色无味的惰性气体，这就意味着，正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在，且不发生反应。

4.在质谱仪谱图中易于与其它物质区分。

5.综合以上几个特点，氦气作为一种检漏的示踪气体，是最佳的选择。