氦质谱检漏仪真空查漏是真空系统查漏中一种十分有效的方法。运行机组中当常规的真空查漏方法如用肥皂水检测法未能查出漏点位置时。可以考虑用氦质谱检漏仪真空查漏法。

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。

真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸枪架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸枪就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。

一般来说漏点越大，被捕获的氦气分子量就越多，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。

氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。