介绍两种生产上常用的氦质谱检漏仪检漏方法: 氦罩法和喷吹法。

1、氦罩法

氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来，检漏时先排除罩内空气，然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示有变化时，表明处于氦罩下的被检件有漏孔。检验罩子可用塑料薄膜制成，对于大批量的小零件，也可制作专用的刚性好的检验罩，使所充示漏气体的压力高于100kPa，以提高检漏灵敏度。氦罩法检漏流程如图所示。

2、喷吹法

喷吹法是最常用、最方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷嘴对着疑有漏孔处进行喷吹。喷吹法检漏应注意以下几个问题:

(1) 检漏次序: 从被检件的上方至下方，由靠近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷吹。

(2) 初检时用大口径的喷嘴， 使氦气流的覆盖面积较大些， 找出漏孔所在的区域后， 改用小口径喷嘴确定漏孔的准确位置。

(3) 要先修补检测出的大漏孔(用真空泥封堵)，再去检测小漏孔。

(4) 当存在两个距离很近的可疑漏孔点时，应先把一点盖住，再用最细的喷嘴喷吹另一点。

(5) 当喷嘴喷吹某点时，如果检漏仪指示有变化，但其上升速度很慢且指示值很不一致， 就表明邻近的其他地方存在大漏孔。

(6) 检测出漏孔后还应再作几次复验。

一般先进行总漏率的测定工作， 只有当总漏率超出允许值后， 再进行漏孔的定位工作。检漏环境要保持通风良好、清洁和干燥，不得有强电磁干扰和强烈振动， 环境温度为(23±7)℃，现场要备有温度和大气压力监测装置。